UC-70
Super Cool Ultra-Low-temperature chillers
超低溫冷卻器
1. 超低溫適用，低溫下穩定冷卻
2. 使用溫度範圍大：-60℃ ~ +60℃
3. 適用於蝕刻裝置等的冷卻
應用領域：
1. 蝕刻裝置等的冷卻
特色：
● 以氟作為專用的熱媒，超低溫適用且低溫下穩定冷卻
● 使用溫度範圍大：-60℃ ~ +60℃
● 幫浦沒有漏液的煩惱，是透過逆變器進行控制
TEX-25A
E Extended Temperature Heat circulator application jar
加熱溫度控制器
1. 專門針對高溫的加熱控制器
2. 精確控制加熱高溫 +70℃ ~ +200℃
3. 適用於半導體製造裝置、化學製品生產系統的加熱溫度控制
應用領域：
1. 半導體製造裝置的加熱溫度控制
2. 化學製品的生產系統加熱溫度控制
特色：
● 專門針對高溫的加熱控制器
● 以氟作為專用的熱媒，控制高溫度範圍
精確控制加熱高溫 +70℃~ +200℃
● 幫浦沒有漏液的煩惱，是透過逆變器進行控制
● 可利用冷卻劑在冷卻管路中循環，讓儀器進行短暫降溫，以利維修等需求
| Model |
UC-70 |
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| 工作溫度範圍 |
-60℃ ~ +60℃ |
| 溫控精確度 |
PID 控制，±0.5℃ |
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| 冷凍輸出 |
1.5 kW |
| 冷卻能力 |
1.15 kW (循環液溫 -30℃)
0.7 kW (循環液溫 -50℃) |
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幫浦能力
(50/60 kHz) |
最大排出壓 (MPa) |
0.55 |
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| 流量 (L/min) |
6/11 |
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| 功率(kW) |
0.75 |
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| 加熱器輸出 |
2.4 kW |
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| 適用熱媒 (循環液) |
GALDEN HT270 |
| 循環油箱容量 |
約2.5L（+備用油箱：9.2 L） |
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| 主冷卻水要求 |
冷卻水溫度 20℃：11 L/Min |
| 循環油箱容量 |
約 3 L (水箱約 7 L) |
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| 機體尺寸 |
553 x 850 x 1281 H ｍｍ |
| 機體重量 |
約 235 kg |
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| 電源 |
三相 AC 200 V ·50/60 HZ |
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| 19/21 A |
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| Model |
TEX-25A |
| 工作溫度範圍 |
+70℃~ +200℃ |
| 溫控精確度 |
PID 控制，±2.0℃ |
| 加熱器輸出 |
2.5 kW |
| 幫浦能力 |
流量：10 L/min（0.2 MPa，60 Hz 時）
馬達輸出：0.75 kW |
| 昇/降溫時間 |
+70℃ → +200℃ : 約 30 min (冷卻水 OFF)
+200℃ → +70℃ : 約 25 min (冷卻水 ON)
冷卻水條件: 約 8 L/min (+20℃時) |
| 適用熱媒 (循環液) |
GALDEN HT270 |
| 循環油箱容量 |
約 3 L (水箱約 7 L) |
| 機體尺寸 |
405 x 692 x 811 H ｍｍ |
| 機體重量 |
約 80 kg |
| 電源 |
三相 AC 200 V ·50/60 HZ |
| 12 A |
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